UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子計(jì)數(shù)器：突破0.1微米檢測(cè)極限，重新定義半導(dǎo)體潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

2025年3月6日——全球***的光電技術(shù)企業(yè)UK MICRON OPTOELECTRONICS正式發(fā)布全新升級(jí)的U-III表面粒子計(jì)數(shù)器。該產(chǎn)品專為高潔凈度制造場(chǎng)景設(shè)計(jì)，采用革命性激光傳感技術(shù)與智能采樣系統(tǒng)，可精準(zhǔn)檢測(cè)0.1微米級(jí)表面顆粒污染，助力半導(dǎo)體、液晶面板及精密電子行業(yè)實(shí)現(xiàn)更高良率與可靠性。

核心技術(shù)創(chuàng)新

納米級(jí)檢測(cè)能力

U-III搭載HeNe激光傳感器，分辨率達(dá)0.1微米，支持0.1-5.0微米顆粒粒徑的六通道分類統(tǒng)計(jì)（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆蓋半導(dǎo)體制造中對(duì)超細(xì)微粒的嚴(yán)苛檢測(cè)需求。

靜態(tài)采樣模式：通過(guò)優(yōu)化氣流控制，減少測(cè)量誤差，提升數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。

智能化設(shè)計(jì)與操作體驗(yàn)

7英寸高分辨率觸控屏：支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡(jiǎn)化流程。

雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)‌：支持連續(xù)生產(chǎn)場(chǎng)景下的不間斷作業(yè)，電池更換無(wú)需停機(jī)。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級(jí)‌：便捷導(dǎo)出檢測(cè)報(bào)告，并可通過(guò)固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

行業(yè)應(yīng)用與效益

提升制造效率

減少50%自凈時(shí)間‌：通過(guò)量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設(shè)備維護(hù)周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。

延長(zhǎng)MTBC（平均無(wú)故障周期）：結(jié)合顆粒控制策略，關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造：晶圓表面、機(jī)臺(tái)內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗(yàn)證。

精密光學(xué)與電子：液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)工具。

市場(chǎng)評(píng)價(jià)與展望

U-III的發(fā)布標(biāo)志著表面污染監(jiān)測(cè)技術(shù)邁向納米級(jí)精度時(shí)代。行業(yè)分析師指出，該設(shè)備通過(guò)量化顆粒數(shù)據(jù)與智能反饋機(jī)制，將推動(dòng)半導(dǎo)體制造從“經(jīng)驗(yàn)驅(qū)動(dòng)”向“數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)”轉(zhuǎn)型，進(jìn)一步降低因微粒污染導(dǎo)致的良率損失。目前，U-III系列已獲得多家國(guó)際頭部晶圓廠的采購(gòu)意向，預(yù)計(jì)將在2025年第二季度實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)交付。

關(guān)于UK MICRON OPTOELECTRONICS‌

作為全球光電傳感領(lǐng)域的***企業(yè)，UK MICRON OPTOELECTRONICS持續(xù)深耕半導(dǎo)體檢測(cè)與精密光學(xué)技術(shù)，其產(chǎn)品線覆蓋表面微粒檢測(cè)、激光粒度分析及高精度熱成像等場(chǎng)景，服務(wù)客戶遍及30余個(gè)國(guó)家與地區(qū)。

測(cè)量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；

          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒徑分布誤差：≤±30%

濃度示值誤差：≤±30%

重復(fù)相對(duì)偏差：≤±10%FS

重疊誤差：當(dāng)每立方英尺2,000,000個(gè)粒子時(shí)小于5%

氣體檢測(cè)：可同時(shí)檢測(cè)氣體濃度，支持1-3個(gè)各種類型的氣體傳感器

溫度范圍：-40 ～ 120℃

檢定標(biāo)準(zhǔn)：計(jì)數(shù)報(bào)告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

采樣時(shí)間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

檢測(cè)模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；三種檢測(cè)模式可切換

檢測(cè)方式：定時(shí)檢測(cè)、循環(huán)檢測(cè)可設(shè)置     

報(bào)警方式：自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值

限值報(bào)警：RS485信號(hào)報(bào)警或外接聲光報(bào)警器

法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計(jì)追蹤、電子記錄等

合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921

合 規(guī) 性：符合21 CFR Part 11

通訊接口：RS232、R485、LAN-USB

存儲(chǔ)模式：實(shí)時(shí)存儲(chǔ)、定時(shí)存儲(chǔ)可設(shè)置；可存儲(chǔ)數(shù)據(jù)無(wú)限制

打印模式：可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù)

工作溫度：5 ～ 45℃

工作電源：AC 100-240V, 50 Hz/60 Hz

工作濕度：≤90%RH，無(wú)冷凝